拡散前処理洗浄後の急速乾燥に最適
各種ウェハー洗浄後の急速乾燥に絶好な機種

特長

入江のスピンドライヤーは拡散前処理洗浄後の急速乾燥に最適。各種ウェハー洗浄後の急速乾燥に絶好な機種。

  • メガビットメモリーデバイスにもっとも適したタイプ。
  • 半導体製造プロセスにおけるウェハーなどの洗浄ならびにダイシング後の急速乾燥に最適。
  • 上ブタより、常に清浄な空気を吸引しているので、ウェハー表面はいつもクリーンな乾燥状態が得られます。
  • ローターが容易に着脱できるので、メンテナンスがいたって簡単です。 軸受部等からのコンタミネーションが皆無といえます。
  • オートドアインターロック方式等、操作の安全性も万全です。
  • 4”φ~12”φまで処理が可能です。
  • 既設備された自動洗浄システムにラインナップさせることが可能です。
  • 静電気防止、ウルパフィルターは標準装備。

概略仕様

概略仕様(1キャリアタイプ)

型式 SPD180RN
使用キャリアサイズ 直径50~200mm×1
電源 AC 3相 200V 50/60Hz
N2 0.2~0.3Mpa 20 L/min
純水 0.1~0.2Mpa 3 L/min
排気・排水 槽内排気 VP75(一般排気に接続)
槽内排気排水 VP75(一般排気と一般排水に必ず分離して接続)
外寸(mm) 540W×734D×998H
モーター AC 3相 200V 4P 0.4KW
回転数(インバーター制御) 槽内洗浄0~1500rpm ドライ0~3500rpm
(直径150mm以上は、3000rpm以下)
タイマー
(任意デジタル設定)
槽内洗浄 0~999秒 1速 可変 0~999秒 2速 可変 0~999秒
静電除去装置 槽内設置
安全機構 オートドアロック機構、防振機構
重量 約85kg

概略仕様(2・4キャリアタイプ)

型式 H840A-900(半自動)(クレドール定位置停止・回転)
使用キャリアサイズ 直径150mm×4 直径200mm×2
電源 AC 3相 200V 50/60Hz 30A
駆動エアー 0.4~0.5Mpa 20 L/min
排気 直径 150mm(オートダンパー付)
排水 VP25
外寸(mm) 900W×1090D×1136H 蓋開閉時 1854H
フィルター ULPAフィルター ※KEPAフィルターもオプションで選択できます
モーター AC 3相 200V 4P 2.2KW
回転数(インバーター制御) 1速 3000rpm 2速 600rpm max 800rpm
タイマー
(任意デジタル設定)
1速 可変 0~999秒 2速 可変 0~999秒
静電除去装置 蓋内部に設置
安全機構 バランス異常時自動停止、過負荷運転防止
重量 約350kg