ポンプストロークの高速化により
小型・軽量・ローコスト化を実現

特長

高速ストローク

ポンプストロークの高速化(Max. 240 spm)により小型・軽量・ローコスト化を実現するとともに、脈動の低減を図りました。

コンタミフリー

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど金属露出のない設計です。また、独自開発のシャフトシール (PAT.) の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。

幅広い液温範囲・高圧吐出

液温範囲は5~180℃、吐出圧力はMax. 0.45 MPaまで可能なため、洗浄プロセスやCMPプロセスはもとより、薬供プロセスでも使用可能です。

概略仕様

最大吐出量 55 L/min
最高供給エアー圧力 0.5 MPa
最大エアー消費量 670 NL/min
最大ストローク数 200 spm
主要材質 PTFE, PFA
液温範囲 5~180℃