エアー駆動ベローズポンプ｜FSシリーズ

高速ストローク

ポンプストロークの高速化(Max. 240 spm)により小型・軽量・ローコスト化を実現するとともに、脈動の低減を図りました。

コンタミフリー

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど金属露出のない設計です。また、独自開発のシャフトシール (PAT.) の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。

幅広い液温範囲・高圧吐出

液温範囲は5～180℃、吐出圧力はMax. 0.45 MPaまで可能なため、洗浄プロセスやCMPプロセスはもとより、薬供プロセスでも使用可能です。