
各種化合物半導体で使用される透明系ウェーハやガラスウェーハに対応、低量産工程からR&D部門まで幅広く対応
特長・用途
- 世界初Violet LD搭載で、飛躍的なランニングコストの低減を達成。
- 多様なウェーハサイズに対応。(50mm~200mm)
- 高性能、低価格、簡単操作、省スペース
- リアルカウント処理で更に確度を上げたパーティクル情報を提供。
- 省フットスペース
概略仕様
光源 | Violet LD |
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検出/走査方式 | 螺旋走査方式 |
散乱光検出/螺旋走査方式 | Bare 79 nm(ガラスは除く) |
再現性 | σ/X ≦1%(99%以上) |
ウェハーサイズ | 50mm~200mm |
測定対象 | Bareウェハー/膜付きウェハー |
大きさ(mm) | 860(W)×900(D)×1650(H) |
質量(kg) | 500 |