各種化合物半導体で使用される透明系ウェーハやガラスウェーハに対応、低量産工程からR&D部門まで幅広く対応
特長・用途
- 世界初Violet LD搭載で、飛躍的なランニングコストの低減を達成。
- 多様なウェーハサイズに対応。（50mm～200mm）
- 高性能、低価格、簡単操作、省スペース
- リアルカウント処理で更に確度を上げたパーティクル情報を提供。
- 省フットスペース
概略仕様
| 光源 | Violet LD |
|---|---|
| 検出／走査方式 | 螺旋走査方式 |
| 散乱光検出／螺旋走査方式 | Bare 79 nm（ガラスは除く） |
| 再現性 | σ/X ≦1%（99%以上） |
| ウェハーサイズ | 50mm～200mm |
| 測定対象 | Bareウェハー／膜付きウェハー |
| 大きさ（mm） | 860(W)×900(D)×1650(H) |
| 質量（kg） | 500 |
