各種化合物半導体で使用される透明系ウェーハやガラスウェーハに対応、低量産工程からR&D部門まで幅広く対応

特長・用途

  • 世界初Violet LD搭載で、飛躍的なランニングコストの低減を達成。
  • 多様なウェーハサイズに対応。(50mm~200mm)
  • 高性能、低価格、簡単操作、省スペース
  • リアルカウント処理で更に確度を上げたパーティクル情報を提供。
  • 省フットスペース

概略仕様

光源 Violet LD
検出/走査方式 螺旋走査方式
散乱光検出/螺旋走査方式 Bare 79 nm(ガラスは除く)
再現性 σ/X ≦1%(99%以上)
ウェハーサイズ 50mm~200mm
測定対象 Bareウェハー/膜付きウェハー
大きさ(mm) 860(W)×900(D)×1650(H)
質量(kg) 500