ウェハー表面装置WM-10は90~65nmプロセスノードに最適、低価格で高性能

特長・用途

  • 高出力Violet-LDの採用により、最高検出感度48nmを達成。90~65nmプロセスノード量産・試作に最適。
  • 省スペース。300mm対応機では最小クラス。
  • ランニングコストの大幅低減。Arイオンレーザーの2/1を実現(当社比)。
  • 2軸光学系を採用。素材からデバイスメーカーまであらゆる分野に対応が可能。
  • 従来機よりも1.5倍のハイスループットを達成(当社比)。
  • 環境に優しい省電力、従来機より30%低減(当社比)。
  • 自動感度補正機能など多様なオプションも用意。

概略仕様

光源 Violet LD
検出/走査方式 散乱光検出/螺旋走査方式
散乱光検出/螺旋走査方式 Bare 48 nm/Film 60nm
再現性 σ/X ≦1%(99%以上)
ウェハーサイズ 300/200、200/150mm(100mmはオプション)
測定対象 Bareウェハー/膜付きウェハー
大きさ(mm) 1272(W)×1213(D)×1650(H)
質量(kg) 950