ウェハー表面装置WM-10は90～65nmプロセスノードに最適、低価格で高性能
特長・用途
- 高出力Violet-LDの採用により、最高検出感度48nmを達成。90～65nmプロセスノード量産・試作に最適。
- 省スペース。300mm対応機では最小クラス。
- ランニングコストの大幅低減。Arイオンレーザーの2/1を実現（当社比）。
- ２軸光学系を採用。素材からデバイスメーカーまであらゆる分野に対応が可能。
- 従来機よりも1.5倍のハイスループットを達成（当社比）。
- 環境に優しい省電力、従来機より30%低減（当社比）。
- 自動感度補正機能など多様なオプションも用意。
概略仕様
| 光源 | Violet LD |
|---|---|
| 検出／走査方式 | 散乱光検出／螺旋走査方式 |
| 散乱光検出／螺旋走査方式 | Bare 48 nm／Film 60nm |
| 再現性 | σ/X ≦1%（99%以上） |
| ウェハーサイズ | 300/200、200/150mm（100mmはオプション） |
| 測定対象 | Bareウェハー／膜付きウェハー |
| 大きさ（mm） | 1272(W)×1213(D)×1650(H) |
| 質量（kg） | 950 |
