1shot当り1mL、 分注性能が大幅に向上

特長

分注性能の向上

吐出量を1shot当り1mLとし、従来に比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入することで、ウェハー洗浄液の濃度管理を精度よく行えます。さらに、濃度のオーバーシュートを抑えることができ、洗浄液のコストダウンにもつながります。またサイホン防止機構を内蔵し、薬液の流出を防止します。

耐腐食性構造計

接液部はオールフッ素樹脂(PTFE、PFA、PCTFE)で構成されており、半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水等の薬液に対応できます。また、ポンプ外部は樹脂(PTFE、PFA、PP、PVC)及びPTFEコーティングされたネジを使用することにより、高い耐腐食性構造になっています。

幅広い吐出量設定に対応

ポンプ下部のカバーを外して、ストローク長の調節が簡単に行なえます。 1shot当り最大2.7mLの吐出が可能です。 (出荷時は、1shot 当り1mLです。)

リークセンサー標準装備

ベローズ破損時にも素早く対応できるリークセンサーを標準装備しました。

概略仕様

一般仕様

用途 薬液補充用途
吐出量 1mL/shot
最大吐出圧力 0.05MPa
取扱液温度範囲 20~60℃
最大ストローク数 30spm
供給エアー圧力 0.15~0.3MPa
最大エアー消費量 2.5NL/min
接液部材質 PTFE、PFA、PCTFE
ポンプ接続口径 1/4”PFAチューブ(φ6.35×4.35)
供給エアー接続口径 Rc1/8
質量 1.1kg

フォトセンサ仕様

形式 透過型マイクロフォトセンサ
電源電圧 5~24V DC±10%
出力形式 NPNトランジスタ・オープンコレクタ
許容電流 50mA以下
コード PVC 4心ケーブル 外径φ5.2mm ケーブル長5m 丸形端子(0.5‐4)付き