ウェハー洗浄用
エアー駆動ベローズポンプ

特長

中温仕様の2タイプ

横型で少流量モデルのFA-2型と、たて型大流量モデルのFA-40VEW型を標準化。FA-2型はスプレー方式の枚葉処理用、FA-40VEW型は200/300mmウェハーの洗浄用に適しています。

肉厚ベローズ

FA-40VEW型には肉厚のベローズを採用。耐圧性に優れ、長期連続運転にも耐える長寿命設計です。

センサー駆動方式

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、ゴム・金属を使用しないコンタミフリー設計です。また、FF-Hシリーズの本体とベローズは完全に溶接されているため、ヒートサイクルによる液漏れがありません。

簡単操作

専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に行えます。

概略仕様

型 式 FA-2E-1 FA-40VEW
最大吐出量 L/min 2 40
供給エアー圧力範囲 MPa 0.2~0.4 0.1~0.4
液温範囲 ℃ 5~100
最大エアー消費量 NL/min 50 200
ポンプストローク数 spm Max.150 Max.80
ポンプ接続口径 Rc1/8 Rc1
エアー接続口径 Rc1/4 Rc3/8
周囲温度 ℃ 0~40
駆動方式 近接スイッチ方式