大型真空チャンバー（スペースチャンバー）

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連続フィルム巻取真空蒸着装置

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真空成膜装置

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堅型ボトムローディング炉

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φ800 × 800H × 2 槽

大型真空チャンバー（スペースチャンバー）

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φ3600 × 4500L


7槽式含浸装置( 液切機構)

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φ400 × 500H

6槽式真空含浸装置

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1000W × 1000D × 1000H × 6槽


水封ポンプ+ メカニカルブースター排気装置

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