豊富な実績に裏打ちされた直結ポンプのスタンダード

特長

ゲーテ式の回転翼型油回転真空ポンプです。高回転で運転されるモータ直結型ですので、ベルト駆動型に比べよりコンパクトで大きな非気速度が得られる、扱いやすい真空ポンプです。

<DW>シリーズには、非排気速度50~1300(60~1500)L/minまで7機種がラインアップされており、仕様に合わせたモデルの選択が可能です(60Hz)。さらに2段ローター型の圧縮方式がより高真空での運転を提供します。

<DS><DT>シリーズは、1段ローター型の圧縮方式を採用し、小型・低コストタイプとなっており、低真空・連続運転の分野で使用されます。

使用上のご注意

標準使用条件

  1. 吸引ガスの種類:空気及び不活性ガス
  2. 吸引ガスの温度:10~40℃
  3. 周囲温度:10~40℃/湿度75% 以下

下記の場合は事前にご相談ください。

  1. 腐食性ガス、可燃性ガス、薬品、溶剤、粉体、水蒸気等を吸引する場合
  2. 常用圧力が1000Pa 以上の場合
  3. 真空と大気圧の繰返し頻度が高い場合

その他ご注意ください

  1. 真空ポンプ油の量、汚れを定期的に点検してください。
  2. 油が逆流しないよう、ポンプ停止時にはポンプ内を大気圧に戻してください。
  3. 大気圧~133Pa 付近の圧力領域では、オイルミストが多く発生します。ポンプ系外へ漏れ出るのを防止するオイルミストトラップのご使用をお勧めします。

用途

  • 理化学機器工業:表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定機器、各種研究開発機器
  • 電気・電子工業: 電子管・ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置 脱ガス/ ベーキング/ 乾燥/ 蒸着/ スパッタリング/ 脱泡充填
  • 食品工業:真空蒸留/ 濃縮/ 脱気、真空( 凍結) 乾燥、真空パッケージ
  • 化学・医薬品: 油脂・石油・可塑剤の蒸留、脱ガス、脱臭、脱水、医薬品の凍結乾燥
  • エネルギー:マンガン、リチウム二次イオンなど各種電池の脱ガス、乾燥、含浸
  • 光学工業: レンズ・鏡・半透鏡製造装置、コーティング/ スパッタリング
  • 産業機械: 樹脂の注型、成型、脱泡、含浸、充填、真空排気装置(ターボ、拡散、メカブ)のバックポンプ

概略仕様

DWシリーズ(2段式)型式一覧

型式 排気速度 L/min(50/60Hz) 到達圧力 Pa
DW-60 50/60

6.7×10-2

DW-120 100/120
DW-185Ⅱ 155/185
DW-360 300/360
DW-720 600/720
DW-960 800/960
DW-1500 1300/1500

DS, DTシリーズ(1段式)型式一覧

型式 排気速度 L/min(50/60Hz) 到達圧力 Pa
DS-20 Ⅱ 17/20 1×10-2
DS-50 Ⅱ 42/50
DT-5 5/6 2×10-2
DT-20 20/24