真空環境内ピンポイントの圧力をダイナミックに測定

非平衝状態にある真空環境内の圧力分布を同時に測定できます。

特長

測定できなかったところでの 測定が可能に!

  • 真空環境内へ設置でき、ピンポイントで圧力の状態、変化が測定できる。
  • センサを複数設置でき、圧力の分布が測定できる。

見えなかったところが可視化できます!

  • ガスの状態(流れ・量)が見える。
  • 装置内の状態が連続的に見える。
  • シミュレーション結果が見える。

高品質化、歩留まりの向上を通して 低炭素化(環境負荷の低減)が達成できます!

  • 真空装置、生産設備を最適な状態に改善、また最適状態を常時確認できる。