肉厚ベローズで
Max. 0.45MPaの高圧吐出が可能
特長
高圧・長寿命
肉厚ベローズの採用でMax.0.45MPaの高圧吐出を可能にしました。しかもベローズ寿命はダイヤフラムタイプに比べ3〜4倍長寿命。ダウンタイムを大幅に低減することができます。
中温タイプと高温タイプ
高圧・中温（10〜100℃）仕様のFWシリーズは薬液供給用に加え、洗浄装置・CMPスラリー液の循環用として、高圧・高温（10〜180℃）仕様のFW-Hシリーズは洗浄装置の循環用ポンプとしてご使用いただけます。
コンタミフリー
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。パーティクルの発生が少なく、市販の継手が使用可能です。
安全設計
ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。
概略仕様
| 型 式 | FW-20 | FW-40 | FW-80 | FW-20H | FW-40H | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 最大吐出量 L/min | 20 | 40 | 80 | 20 | 40 | ||||
| 供給エアー 圧力範囲 MPa |
0.2～0.5 | 0.2～0.5 | 0.15～0.3 | 0.15～0.2 | 0.2～0.5 | 0.15～0.3 | 0.15～0.2 | ||
| 液温範囲 ℃ | 10～100 | 10～100 | 10～80 | 10～100 | 101～150 | 151～180 | 10～100 | 101～150 | 151～180 |
| 最大エアー消費量 NL/min | 330 | 480 | 820 | 330 | 200 | 140 | 480 | 300 | 220 |
| ポンプストローク数 spm | Max.120 | Max.80 | Max.80 | Max.120 | Max.80 | ||||
| ポンプ接続口径 mm | φ19×φ16 PFAチューブ |
φ25×φ22 PFAチューブ |
φ19×φ16 PFAチューブ |
φ25×φ22 PFAチューブ |
|||||
| エアー接続口径 | Rc1/4 | Rc3/8 | Rc1/2 | Rc1/4 | Rc3/8 | ||||
| 周囲温度 ℃ | 0～40 | ||||||||
| 駆動方式 | 近接スイッチ方式 | ||||||||
- ●最大吐出量は清水20°Cの場合による性能です。
