肉厚ベローズで
Max. 0.45MPaの高圧吐出が可能

特長

高圧・長寿命

肉厚ベローズの採用でMax.0.45MPaの高圧吐出を可能にしました。しかもベローズ寿命はダイヤフラムタイプに比べ3〜4倍長寿命。ダウンタイムを大幅に低減することができます。

中温タイプと高温タイプ

高圧・中温(10〜100℃)仕様のFWシリーズは薬液供給用に加え、洗浄装置・CMPスラリー液の循環用として、高圧・高温(10〜180℃)仕様のFW-Hシリーズは洗浄装置の循環用ポンプとしてご使用いただけます。

コンタミフリー

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。パーティクルの発生が少なく、市販の継手が使用可能です。

安全設計

ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。

概略仕様

型 式 FW-20 FW-40 FW-80 FW-20H FW-40H
最大吐出量 L/min 20 40 80 20 40
供給エアー
圧力範囲 MPa
0.2~0.5 0.2~0.5 0.15~0.3 0.15~0.2 0.2~0.5 0.15~0.3 0.15~0.2
液温範囲 ℃ 10~100 10~100 10~80 10~100 101~150 151~180 10~100 101~150 151~180
最大エアー消費量 NL/min 330 480 820 330 200 140 480 300 220
ポンプストローク数 spm Max.120 Max.80 Max.80 Max.120 Max.80
ポンプ接続口径 mm φ19×φ16
PFAチューブ
φ25×φ22
PFAチューブ
φ19×φ16
PFAチューブ
φ25×φ22
PFAチューブ
エアー接続口径 Rc1/4 Rc3/8 Rc1/2 Rc1/4 Rc3/8
周囲温度 ℃ 0~40
駆動方式 近接スイッチ方式
  • ●最大吐出量は清水20°Cの場合による性能です。