Max. 100L/min
薬液供給用の大流量モデル

特長

高速ストローク

高速ストローク(Max.200spm:FS-80NT型)で小型・軽量・ローコスト化を実現しています。

コンタミフリー設計

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。また、弊社独自に開発したシャフトシール(FS-80NT型…PAT.)の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。

大流量/高圧吐出

供給エアー圧力はMax.0.7MPaまで可能なため高圧・大流量吐出が必要な薬供プロセスはもとより、洗浄・CMPプロセスまで幅広く使用することができます。

センサー駆動方式

ポンプに内蔵された近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサー駆動方式を採用。確実に作動するため、各種コントローラーに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。

概略仕様

型 式 FS-80NT FS-100NF
最大吐出量
L/min
80 100
供給エアー圧力範囲
MPa
0.2~0.5 0.5~0.6 0.6~0.7 0.2~0.7
液温範囲
ºC
5~60 5~60
最大エアー消費量
NL/min
1029 938 787 1495
ポンプストローク数
spm
Max.200 Max.150 Max.110 Max.100
ポンプ接続口径 φ25×φ22mm PFAチューブ JIS 20K 25Aフランジ
エアー接続口径 Rc 3/8 Rc 1/2
周囲温度
ºC
0~40
駆動方式 近接スィッチ方式
  • ●最大吐出量は清水20°Cの場合による性能です