半導体製造

半導体製造ラインのシリコンウェハ洗浄工程で使用されいる部材・精密機器をラインナップして多様に取り扱っています。
主要な用途として、
1)高温条件での薬液移送を可能とする低脈動ポンプ
2)薬液・純水に含まれている金属イオン及びパーティクルの除去フィルター
3)洗浄で必要な超純水の加熱装置
4)ウェハ洗浄後の乾燥装置
5)装置メンテ後の清浄度を測定するパーティクル測定装置
をトータルで提案をさせて頂きます。