ウェハーガード シリーズ ウェハーガードMAX インラインガスフィルター　インテグリス

コンパクトで高流量を実現

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特長

  • コンパクトで高流量を実現。
  • 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上除去。
  • 特殊洗浄を施したクリーンな製品。
  • 高品位316Lステンレス製ハウジング。

概略仕様

材質 フィルター PTFE
サポート PFA
ハウジング Low Sulfur SUS316L
粒子除去率 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上
初期清浄度 0.01µm以上の粒子 < 0.03 個/L
H2O, THC < 10 ppb （MAX-Sのみ）
推奨流量 150 - 1000 NL/min
最高使用圧力 1 MPa 未満
最大許容正差圧 0.7 MPa
最大許容逆差圧 0.25 MPa
最高使用温度 120 °C
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製品型番

  • WGMXMBRR2
  • WGMXMBRR4
  • WGMXMBSS2
  • WGMXMBSS3
  • WGMXMBSS4
  • WGMXMSRR2
  • WGMXMSRR4

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