不活性ガス、腐食性ガス、ハイドライドガス
CO2などの各ガス種に対応

特長

  • ガス中の不純物をPPTレベルに低減。
  • 不活性ガス、腐食性ガス、ハイドライドガス、COなどの各ガス種に対応。
  • 1SLMから1000SLMまでの各種サイズをご用意。

概略仕様

除粒子サイズ 0.003 µm
材質 フィルター SUS316Lまたはニッケル
サポート SUS316L
常用圧力 0 ~ 1 MPa
使用温度 -40 ~ 65°C
Heリークレート 1 × 10-9 atm mL/sec