研究開発、小ロット生産に適した小型・高性能ロールコーターです。プラズマ処理、スパッタ及び蒸着のユニットがあります。

概略仕様

到達圧力 ×10‒5Pa
真空計 BAゲージ、キャパシタンスマノメーター
ワークサイズ W100mm×L200m×t 50~100um
送り速度 0.2~4m/min (CW/CCW 可能)
真空槽 SUS304  W500×H850×D450㎜
ロールコーン φ250 水冷式
軸シール 磁気シール使用
成膜前プラズマ処理 13.56MHz RF電極 ×1式
蒸発源 ① 70×200 DCマグネトロン型×2式まで
②抵抗蒸発源
主ポンプ TMP 1100L/s
水分排気 CRYOスーパートラップ
プロセスガス Ar , O2 , N2 , マスフローコントローラ使用
床面積 4m2
ユーティリティ ・AC200V 3φ 100A   ・冷却水