CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルタ

特長

  • CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
  • 最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能を向上。
  • デッドボリュームが少なく、コンパクトなディスポーザブルデザイン。
  • フィルター交換が容易なマニホールドタイプもご用意。

概略仕様

材質 フィルター ポリプロピレン
ハウジング ポリプロピレン
O ‐ リング EPDM
最高使用圧力 0.34 MPa at 20℃
最大許容差圧 0.28 MPa at 20℃
最高使用温度 50 °C