PTFE/PFAフィルタークイックチェンジ NXMカートリッジフィルター

QuickChange® (クイックチェンジ) NX フィルターは、水溶性薬液、特にアウトガスの発生する薬液、反応性の高い酸・アルカリ用の先進的なフィルターです。

28 nm 以上のテクノロジーノードにおける水溶性薬液、特にアウトガスの発生する薬液、反応性の高い酸・アルカリ用の高流量で優れた粒子除去性能のフィルターです。

概略仕様

孔径	0.03,0.05,0.1,0.2μm
材質	フィルター	Non ‐ dewetting PTFE
	サポート	PFA
	コア、スリーブ、キャップ	PFA
	O ‐ リング ( 規格 : AS568‐ 222)	被覆フッ素ゴム(E‐FKM)、被覆ETP (E‐ ETP) 、ケムラッツまたはカルレッツ
初期清浄度	金属抽出量	通常品< 25 μg/ デバイス、高清浄品 (UCM)< 10μg/デバイス
初期清浄度	初期粒子放出量	0.05 μm以上の粒子が50個/10mL以下
膜面積	10インチタイプ1.8m²20 インチタイプ3.6m²
最大許容正差圧	0.44 MPa at 25°C、0.05MPa at 200
最大許容逆差圧	0.34 MPa at 25°C
最高使用温度	200 °C*1