概略仕様

孔 径 0.03,0.05,0.1,0.2μm
材 質 フィルター Non ‐ dewetting PTFE
サポート PFA
コア、スリーブ、キャップ PFA
O ‐ リング ( 規格 : AS568‐ 222) 被覆フッ素ゴム(E‐FKM)、被覆ETP (E‐ ETP)
、ケムラッツまたはカルレッツ
初期清浄度 金属抽出量 通常品< 25 μg/
デバイス、高清浄品 (UCM)< 10μg/デバイス
初期粒子放出量 0.05 μm以上の粒子が50個/10mL以下
膜面積 10インチタイプ1.8m220 インチタイプ3.6m2
最大許容正差圧 0.44 MPa at 25°C、0.05MPa at 200
最大許容逆差圧 0.34 MPa at 25°C
最高使用温度 200 °C*1