不活性ガス、腐食性ガス、ハイドライドガス
CO2などの各ガス種に対応
特長
- ガス中の不純物をPPTレベルに低減。
- 不活性ガス、腐食性ガス、ハイドライドガス、COなどの各ガス種に対応。
- 1SLMから1000SLMまでの各種サイズをご用意。
概略仕様
| 除粒子サイズ | 0.003 µm | |
|---|---|---|
| 材質 | フィルター | SUS316Lまたはニッケル |
| サポート | SUS316L | |
| 常用圧力 | 0 ～ 1 MPa | |
| 使用温度 | -40 ～ 65°C | |
| Heリークレート | 1 × 10-9 atm mL/sec | |
ガスピューリファイヤー ゲートキーパー
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