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各種電池・電極などの乾燥・ベーキング・脱ガス処理のための装置。露点管理可能なグロー ブBOX により、乾燥・ベーキング処理後のワークへの水分吸着を防止

特徴

お客様のニーズ(目的、用途、使用循環など)に合った最適の装置をご選択いただけます。


仕様

槽内寸法 W400×D400×H400㎜~W800×D800×H800㎜
性能DY 到達圧力 ×101Pa (油回転真空ポンプ)
×10‒4Pa (ターボ分子ポンプ)
加熱温度範囲 100℃~400℃
グローブBox内露点 - 65℃以下(約4ppm)
構成 排気系 油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ+ターボ分子ポンプ
加熱系 外部壁面加熱(180℃以下)又は内部棚板加熱(500℃以下)
温度制御 温度調節計によるPID制御
棚段数 3~4
操作方式 全自動運転/手動運転