CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルタ
特長
- CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
- 最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能を向上。
- デッドボリュームが少なく、コンパクトなディスポーザブルデザイン。
- フィルター交換が容易なマニホールドタイプもご用意。
概略仕様
| 材質 | フィルター | ポリプロピレン |
|---|---|---|
| ハウジング | ポリプロピレン | |
| O ‐ リング | EPDM | |
| 最高使用圧力 | 0.34 MPa at 20℃ | |
| 最大許容差圧 | 0.28 MPa at 20℃ | |
| 最高使用温度 | 50 °C | |
