研究開発、小ロット生産に適した小型・高性能ロールコーターです。プラズマ処理、スパッタ及び蒸着のユニットがあります。
概略仕様
| 到達圧力 | ×10‒5Pa | ||
|---|---|---|---|
| 真空計 | BAゲージ、キャパシタンスマノメーター | ||
| ワークサイズ | W100mm×L200ｍ×t 50～100um | ||
| 送り速度 | 0.2～4m/min (CW/CCW 可能) | ||
| 真空槽 | SUS304 Ｗ500×Ｈ850×Ｄ450㎜ | ||
| ロールコーン | φ250 水冷式 | ||
| 軸シール | 磁気シール使用 | ||
| 成膜前プラズマ処理 | 13.56MHz RF電極 ×1式 | ||
| 蒸発源 | ① 70×200 DCマグネトロン型×2式まで ②抵抗蒸発源 |
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| 主ポンプ | TMP 1100L/s | ||
| 水分排気 | CRYOスーパートラップ | ||
| プロセスガス | Ar , O2 , N2 , マスフローコントローラ使用 | ||
| 床面積 | 4m2 | ||
| ユーティリティ | ・AC200V 3φ 100A ・冷却水 |
