パターンなしウェーハ表面検査装置 WM-7SR+

ウェーハ表面のパーティクルを捉え、品質・工程管理を支える。

パターンなしウェーハ表面の微小パーティクルを検査

WM-7SR+は、ベアウェーハ表面のパーティクルなどを検査する装置です。
2～8インチのウェーハに対応し、Bare-Siウェーハで最高79nm、オプション仕様では61nmの検出感度に備えています。ダイナミックレンジは79nm～5.0μmです。

工程や製造装置の管理、材料・部材の管理、研究開発など、ウェーハ表面の状態を確認するさまざまな用途で活用できます。

具体的な測定対象や必要な検出粒径については、事前に測定可否をご確認ください。最高検出感度 79nm※ ｜ 2～8inch対応｜ 79nm～5.0μm
※Bare-Siウェーハの場合。61nmはオプション仕様です。

12インチまでのウェーハや、より微小なパーティクルの検出が必要な場合は、4～12インチ・最高検出感度48nm（Bare-Si）の「WM-10R+」もご確認ください。

WMシリーズは、ベアウェーハ表面のパーティクルなどを検査し、その結果を工程や装置、材料などの管理・評価に活用するための装置です。

メーカーでは、主な用途として次を挙げています。

ウェーハ表面の検査結果を、製造装置の状態管理に活用します。

製造工程におけるウェーハ表面の状態確認に活用します。

材料や部材に関わるパーティクル管理に活用します。

製造装置の出荷時の検査・評価に活用します。

材料やプロセスなどの研究開発におけるウェーハ表面の評価に活用します。

ウェーハ製造における中間検査や出荷時の検査に活用します。