高真空排気装置｜TPS/DPS シリーズ

ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2タイプ。さらに補助ポンプとして油回転及びドライポンプを用意し、ニーズに合わせた選択を可能とした高真空排気システムです

製品に関するお問合せ

特長

高真空での各種実験・開発・生産プロセスに対応
空冷式により水配管不要、保守の負担を軽減
場所を選ばない100V 電源
メインフレーム・ベースにアルミを採用、軽量化を実現
使いやすさを追求したコンパクト設計

ターボ分子ポンプ排気システム＜TPS＞タイプ

補助ポンプをダイアフラム型ドライ真空ポンプ、またはスクロール型ドライ真空ポンプと組み合わせてフルドライの排気系を実現可能。
起動・停止に要する時間が短い。
不意の大気導入にも強い構造のターボ分子ポンプを採用。

（注）故意に大気導入を繰返しますと故障の原因となります

油拡散ポンプ排気システム＜DPS＞タイプ

・より低コストで高真空雰囲気を得られます
・三方弁の切替機能により、補助ポンプのみの単独排気運転も可能
・保守点検が容易

概略仕様

TPSタイプ

型式	TPS-50ZA	TPS-50ZB	TPS-50ZC	TPS-220ZA	TPA-220ZB	TPS-220ZC
ターボ分子ポンプ	50L/s			220L/s
補助ポンプ	DW-60	USW-50N	MZ-2CNT	DW-120	USW-100N	ISP-250C
到達圧力	×10^-5Pa^*1		×10^-3Pa^*1	×10^-5Pa^*1		×10^-4Pa^*1
起動/停止時間	3/3min^*2			2.2/3.5min^*2
吸気口径	VG-65			VG-100
所要電力（AC）	100V 15A
質量	約51kg	約55kg	約45kg	約56kg	約59kg	約70kg
外形寸法 (W×D×Hmm)	600×400×700	600×400×750	600×400×700	600×400×730	600×400×800	600×400×850

DPSタイプ

型式	DPS-2-ZA	DPS-2-ZB	DPS-3-ZA	DPS-3-ZB	DPS-4-ZA	DPS-4-ZB
油拡散ポンプ	58L/s		150L/s		215L/s
補助ポンプ	DW-60	USW-50N	DW-120	USW-100N	DW-120	USW-150N
到達圧力	×10^-4Pa^*3
起動時間	17min^*2		22min^*2
吸気口径	VF-50		VF-80		VF-100
所要電力（AC）	100V 15A		100V 15A×2^*4
質量	約57kg	約60kg	約68kg	約70kg	約70kg	約80kg
外形寸法 (W×D×Hmm)	600×400×935		600×400×995	600×400×1095	600×400×1030	600×400×1130

＊ 1. ターボ分子ポンプをベーキング・ガス出し後、ポンプヘッドでの値です。
＊ 2. 起動時間は吸気口閉め切りでの値です。チャンバー容量により時間が異なります。
＊ 3. 吸気口閉め切りでの値です。
＊ 4. 補助ポンプとメインポンプ用として、別々の電源プラグ(2 本）があります。
＊お客様の使い勝手・仕様に合わせて、各種オプション部品を組込みセットアップする特注バージョンも製作いたします。