本装置は従来の導波光利用の表面応力計では測定できない Li+ ⇔ Na+ 交換による化学強化ガラスの応力分布を散乱光光弾性を利用して測定可能にしました。表面付近にK+の層がある場合は導波光利用の表面応力計FSM-6000による情報と合成して断面の応力分布解析を行います。
概略仕様
| 測定範囲 | 応力値 0-2000MPa、応力層深さ 10-600um |
|---|---|
| 測定分解能 | 応力 5MPa 深さ 5um |
| 測定精度 | 表面より深さ50um以上 応力±10MPa 深さ±10um (基準ガラスに対して) |
| 光源 | LD520nm±10nm 18mW Class 3B or 405±10nm 5mW Class 3B |
| 測定対象 | 化学強化ガラス、２段化学強化ガラス、物理強化ガラス |
| 測定形状 | 平面-1000R 10×10mm以上 |
| プリズム屈折率 | 1.518 @518nm / 1.530 @405nm |
