再現性±0.3%(F.S.)以下。
高精度、コンパクト、低コスト。

特長

高精度

ステッピングモータ駆動により、再現性±0.3%(F.S.)以下を実現しました。

低コスト

主要部品を成型化して、コストが低減しました。

コンパクト

高さ:260mm(当社従来品:330mm)
幅:50mm(当社従来品:60mm)

コンタミフリー

半導体関連のレジストディスペンス用途において、摺動部・滞留部が無いため、液のゲル化を抑えます。

概略仕様

型式 PDS-105R
最大吐出量 5.0 mL/shot
吐出速度 0.1~4.0 mL/sec
吸込速度 0.1~3.0 mL/sec
最高吐出圧力 0.15 MPa
繰返し精度 ±0.3 %以下(F.S.)
最高取扱い液粘度 200 mPa•s