フォトレジストディスペンスポンプ｜PDS-105R

高精度

ステッピングモータ駆動により、再現性±0.3%（F.S.）以下を実現しました。

低コスト

主要部品を成型化して、コストが低減しました。

コンパクト

高さ：260mm（当社従来品：330mm）
幅：50mm（当社従来品：60mm）

コンタミフリー

半導体関連のレジストディスペンス用途において、摺動部・滞留部が無いため、液のゲル化を抑えます。