カタログ

接液部の主材質にフッ素樹脂を採用。 強酸移送に最適で、あらゆる分野の薬液注入プロセスに活躍します。

IXシリーズは、高分解能・高精度・省エネ化を実現した、さまざまな薬注現場ニーズに対応出来る直動ダイヤフラム式ポンプです。

プランジャーポンプLGは高圧微量注入を高精度に行えます。小型・低コストでハイグレードな性能を備えています

直動ダイヤフラムポンプLKは経済的で汎用性の高い定量ポンプです。PVC成形ポンプヘッドを採用し、フランジ・ホース・ユニオ

ＴＤシリーズはツインポンプヘッドを採用し安定した薬液移送と低脈動を実現し、エアーチャンバー不要で配管設計をシンプルにし、

直動ダイヤフラムポンプSKはスペースユーティリティを考慮したモータたて置き設計。密閉屋外構造と相まって装置組込みからプラ

フォトレジストディスペンスポンプ PDSは高トルクステッピングモータを駆動源に使用、レジスト液の使用量を大幅に削減

定量ポンプコントローラMFC型は制御性に優れた、定量ポンプLKシリーズ専用のコントローラです

油圧ダイヤフラム型定量ポンプAXはSLクランク・ウォームギヤ減速機の一体化構造を採用し大巾な小型・軽量化を実現