高周波・マイクロ波・高電圧環境でも温度を測定

FLシリーズ・FLC-1000シリーズは、測温部に金属を使用しない蛍光式光ファイバー温度計です。

高周波・マイクロ波・高電圧環境では、金属を使用する一般的な電気式温度センサはノイズや自己発熱などの影響を受け、正確な温度測定が難しくなる場合があります。

FLシリーズ・FLC-1000シリーズは測温部に金属を使用しないため、このような環境での温度測定に適しています。

半導体製造装置内やマイクロ波加熱中の温度測定などに使用できます。

FLシリーズ・FLC-1000シリーズの選び方

温度を表示して確認したい場合は「FLシリーズ」、装置に組み込んで測定データを利用したい場合は「FLC-1000シリーズ」から選択できます。

温度を表示して確認したい｜FLシリーズ

FLシリーズは、表示部を備えた汎用タイプの蛍光式光ファイバー温度計です。

1か所の温度を測定するFL-2000（1チャンネル）と、4か所の温度を測定できるFL-2400（4チャンネル）があります。

1本の光ファイバー温度センサを接続して測定する1チャンネルタイプです。

15,000データを本体に記録できるため、測定値を保存したい場合にも適しています。

4本の光ファイバー温度センサを接続できる4チャンネルタイプです。複数箇所の温度を同時に測定したい場合に適しています。

FL-2000・FL-2400ともに測定範囲は-195.0～450.0℃、分解能は0.1℃です。

FLC-1000シリーズは、表示部をなくして小型・軽量化した装置組込用の蛍光式光ファイバー温度変換器です。

光ファイバー温度センサで測定した温度を、アナログ出力やシリアル通信によって装置側へ出力できます。

そのため、作業者が温度計の画面を見て確認する使い方ではなく、製造装置などの一部として組み込み、測定した温度データを装置側で利用したい場合に適しています。

FLC-1000シリーズには8つの型式があり、測定範囲・シリアル通信・アナログ出力の組み合わせによって、使用環境に合った型式を選択します。

FLシリーズ・FLC-1000シリーズで温度を測定するには、本体とは別売の専用光ファイバー温度センサが必要です。

センサは、測定する温度だけでなく、薬品への耐性、レーザー・プラズマなどの強い光、高温環境など、使用する環境に合わせて選択します。

そのため、本体を選ぶだけでなく、実際の測定対象や使用環境に適したセンサを組み合わせることが重要です。

測定箇所数や測定温度、装置への組み込みの有無に加え、高周波・高電圧・薬品・強い光など、使用環境によって適した本体やセンサが異なります。

「現在の温度センサではノイズの影響を受けてしまう」「光ファイバー温度計が使える環境か分からない」「どの本体・センサを組み合わせればよいか分からない」といった段階でも、お気軽にお問い合わせください。

項目	FL-2000	FL-2400	FLC-1000シリーズ
入力点数	1チャンネル	4チャンネル	1点
測定範囲	-195.0～450.0℃	-195.0～450.0℃	-10.0～310.0℃ または -110.0～210.0℃ ※型式による
分解能	0.1℃	0.1℃	0.1℃
測定精度	キャリブレーション未使用時：-195.0～399.9℃ ±2℃、400.0～450.0℃ ±5℃ キャリブレーション使用時：±0.5℃※	キャリブレーション未使用時：-195.0～399.9℃ ±2℃、400.0～450.0℃ ±5℃ キャリブレーション使用時：±0.5℃※	±0.5℃※
メモリ	15,000データ	なし	―
通信	RS-232C	RS-232C	RS-232C または RS-485 ※型式による
アナログ出力	10mV/℃	10mV/℃	10mV/℃ または 4～20mA ※型式による
電源	AC100V／単3アルカリ乾電池×6本	AC100V	DC24V±10％
主な特長	1か所測定・データ記録	4か所測定	装置組込用・小型軽量