QuickChange® (クイックチェンジ) NX フィルターは、水溶性薬液、特にアウトガスの発生する薬液、反応性の高い酸・アルカリ用の先進的なフィルターです。
28 nm 以上のテクノロジーノードにおける水溶性薬液、特にアウトガスの発生する薬液、反応性の高い酸・アルカリ用の高流量で優れた粒子除去性能のフィルターです。
概略仕様
共通仕様
| 材質: | メンブレン | Non-dewetting PTFE |
|---|---|---|
| サポート、コア、スリーブ、エンドキャップ | PFA | |
| O-リング (AS568-222、カートリッジのみ) | 被覆フッ素ゴム(E-FKM)、被覆ETP(E-ETP)、カルレッツ、ケムラッツ | |
| ハウジング(ディスポーザブルのみ) | PFA | |
| 使用条件: | 最高使用圧力 | 0.58 MPa @ 25 ºC、0.097 MPa @ 200 ºC |
| 最大許容正差圧 | 0.44 MPa @ 25 ºC、0.05 MPa @ 200 ºC | |
| 最大許容逆差圧 | 0.34 MPa @ 25 ºC | |
| 最高使用温度 | 200 °C | |
| 金属抽出物: | 試験対象金属 | 標準: 10 種類 UCM: 12 種類 |
| その他の抽出物: | 標準 / UCM: TOC、CI | |
個別仕様
| 型式 | クイックチェンジNXT/NXX/NXM | クイックチェンジ NXE | クイックチェンジ NX3 |
|---|---|---|---|
| 除粒子径: | 0.03、0.05、0.1、0.2 µm | 15 nm、0.03、0.05、0.1、0.2 µm | 15 nm |
| 膜面積: | NXT 10": 0.9 m2、20": 1.8 m2、30": 2.7 m2 NXX 4": 0.5 m2、10": 1.3 m2、20": 2.6 m2 NXM 10": 1.8 m2、20": 3.6 m2 |
10": 15 nm: 2 m2 0.03 - 0.2 µm: 2.2 m2 20": 15 nm: 4 m2 0.03 - 0.2 µm: 4.4 m2 |
10": 3 m2 20": 6 m2 |
