「頻繁すぎるメンテナンス、他社はどうしているのか?」
「交換頻度を減らせないか?」
「高品質低価格の消耗品がほしい、他社はどう調達しているのか?」

半導体製造に関しては悩みが尽きませんよね。
コストを上げずに消耗品交換やメンテナンスの頻度を下げたいと思いませんか?しかも、パーティクルの心配なしに。

何にでも効く魔法ような方法はありませんが、ベストプラクティス(最善の取組)というのはあります。

最善の取組を知り、やるべきことをやれば交換やメンテの頻度を最小限に抑えることが出来ます。当社は、半導体商社として日々様々なベストプラクティスの提案に携わっており、その知見を「虎の巻」にまとめました。

 

半導体生産に携わる生産技術の方に特に役に立つ内容です。部署内でご回覧いただくことが可能です。社内での情報共有にご利用頂いております。

 

 

虎の巻目次

CMP装置関連に関するよくある課題と対応策

・CMPリテーナーリングの交換の手間をなくすには?
・CMPパッドの交換の手間をなくすには?
・保管中に砥粒が沈殿・凝集・分離してしまう効果的な対策はないか?
・夏の暑さの中でも、複数のCMP装置の冷却に対応できるようにならないか?
・自社のクリーン基準で調達したいが、サプライヤーがついてこれない、どうすればいいか?

 

成膜装置、エッチング装置関連に関するよくある課題と対応策

・ウエハチャックに付着したパーティクルを補足するには?
・不安定なドライエッチングを自動車業界向け半導体に適用するには?
・プロセスガスや薬液に暴露する消耗品の交換頻度を抑制する方法はないのか?装置の腐食を防ぐ方法は?
・成膜用ガスが固まってしまうが、なにか良いソリューションはないか?

 

洗浄装置に関するよくある課題と対応策

・現在使用しているパーティクルセンサーが廃番になったが、買い換えると高い、どうすればいい?
・温調機近くに配置できない装置にトラブルなく移送したいがどうすれば良いのか?
・温調機のヒーターで、良いサプライヤーを見つけたい、どうしたら良いか?
・ダミーウエハーに起因したパーティクルを防ぐにはどうしたら良いか?
・搬送アームが接触破損してしまう、何か解決策はないか? 
・スリットバルブの消耗品が高くついている、良いソリューションはないか?
・温調器が頻繁に故障してしまう。恒久的な解決策はないか?
・従来にない精度で洗浄装置の薬液濃度を管理をしたい。どうすればいいか?

 

下記、お問い合わせフォームより虎の巻のお申し込みをお願いいたします。

 

メール確認後、2~3営業日以内にこちらから資料をお送りいたします。

※お問合せメールを弊社宛に送信したにも関わらず数日経過しても弊社から何も回答がない場合、お手数ですが弊社フリーダイヤル(0120-209-045)にて御問合せください。

当社の個人情報の取り扱いについては、こちらをご確認ください。

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