半導体 虎の巻

半導体生産に携わる生産技術の方に特に役に立つ内容です。部署内でご回覧いただくことが可能です。社内での情報共有にご利用頂いております。

 

半導体 虎の巻

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虎の巻目次

CMP装置関連に関するよくある課題と対応策

・CMPリテーナーリングの交換の手間をなくすには?
・CMPパッドの交換の手間をなくすには?
・保管中に砥粒が沈殿・凝集・分離してしまう効果的な対策はないか?
・夏の暑さの中でも、複数のCMP装置の冷却に対応できるようにならないか?
・自社のクリーン基準で調達したいが、サプライヤーがついてこれない、どうすればいいか?

 

成膜装置、エッチング装置関連に関するよくある課題と対応策

・ウエハチャックに付着したパーティクルを補足するには?
・不安定なドライエッチングを自動車業界向け半導体に適用するには?
・プロセスガスや薬液に暴露する消耗品の交換頻度を抑制する方法はないのか?装置の腐食を防ぐ方法は?
・成膜用ガスが固まってしまうが、なにか良いソリューションはないか?

 

洗浄装置に関するよくある課題と対応策

・現在使用しているパーティクルセンサーが廃番になったが、買い換えると高い、どうすればいい?
・温調機近くに配置できない装置にトラブルなく移送したいがどうすれば良いのか?
・温調機のヒーターで、良いサプライヤーを見つけたい、どうしたら良いか?
・ダミーウエハーに起因したパーティクルを防ぐにはどうしたら良いか?
・搬送アームが接触破損してしまう、何か解決策はないか? 
・スリットバルブの消耗品が高くついている、良いソリューションはないか?
・温調器が頻繁に故障してしまう。恒久的な解決策はないか?
・従来にない精度で洗浄装置の薬液濃度を管理をしたい。どうすればいいか?

 

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