真空乾燥器 VSシリーズ

真空乾燥機VSシリーズ・VSPシリーズは、堅牢なチャンバーで、到達真空度10Pa以下(無負荷、非加熱時)を実現したリーク量の少ない真空乾燥機です。実験室、研究室での使用から生産用途まで幅広い用途、分野にご使用いただけます。最高温度は200℃(外熱式)、350℃(内熱式)、槽内寸法300□~600□をご用意しております。また、お客様の用途に合わせた様々なカスタマイズ対応が可能です。

用途

自動車/半導体/液晶/食品/化学/製薬/電線/非鉄金属/光学機器/フィルム/計測・分析機器メーカー等の製造現場、生産技術、研究室等、様々な分野でご使用頂いております。材料・部品・製品洗浄後の乾燥処理や、熱に弱い材料の低温乾燥、微細部品の溝・すきま等の細部の乾燥、不活性ガス乾燥等。

シリコンウェーハ/電気・電子部品/高分子化学/フィルム/薬品/電線/ゴム/樹脂/リチウム電池/粉末金属/コンデンサー/ドライフラワー etc.

概略仕様

VSシリーズ(外熱式/卓上/真空ポンプ無し)

真空乾燥機 VS

型式 VS-30 VS-40 VS-50 VS-60
湿度範囲 50℃~200℃(真空槽内)
到達圧力 10Pa(無負荷、非加熱時)
昇温調節精度 ±1.0℃(無負荷、150℃設定時)
昇温時間 120分(無負荷、周囲温度20℃時、150℃迄)
制御方法 プログラム調節計によるPID制御。2パターン各8セグメントのプログラム機能
排気系 真空弁、リーク(ガス導入)弁、ブルドン管真空計、Φ15ゲージポート、 真空ポンプ接続口(NW25フランジ)、リーク(ガス導入口Rc1/4)、真空配管(銅配管)
安全装置 漏電ブレーカー、ヒーター回路、制御回路ヒューズ、二重過熱防止回路(加熱停止、ブザー・ランプ警報、 手動リセット)、自己診断機能(設定値、温度センサ、バーンアウト)
内寸(mm) W300×D300×H300 W400×D400×H400 W500×D500×H500 W600×D600×H600
槽内容量 27L 64L 125L 216L
外寸(mm) W500×D500×H800 W600×D600×H900 W700×D700×H1000 W800×D800×H1250
棚段 4段 4段 5段 5段

VSPシリーズ(外熱式/ポンプ組込型)

真空乾燥機 VSP

型式 VSP-30 VSP-40 VSP-50 VSP-60
湿度範囲 50℃~200℃(真空槽内)
到達圧力 10Pa(無負荷、非加熱時)
昇温調節精度 ±1.0℃(無負荷、150℃設定時)
昇温時間 120分(無負荷、周囲温度20℃時、150℃迄)
制御方法 プログラム調節計によるPID制御。2パターン各8セグメントのプログラム機能
排気系 油回転真空ポンプ、真空弁、リーク(ガス導入)弁、ブルドン管真空計、Φ15ゲージポート、 リーク(ガス導入口Rc1/4)、真空配管(銅配管)
安全装置 漏電ブレーカー、ヒーター回路、制御回路ヒューズ、二重過熱防止回路(加熱停止、ブザー・ランプ警報、 手動リセット)、自己診断機能(設定値、温度センサ、バーンアウト)
内寸(mm) W300×D300×H300 W400×D400×H400 W500×D500×H500 W600×D600×H600
槽内容量 27L 64L 125L 216L
外寸(mm) W500×D500 ×H約1250 W600×D600 ×H約1400 W700×D700 ×H約1480 W800×D800 ×H約1650
棚段 4段 4段 5段 5段

様々な特注対応実績

サイズ/材質(インコネル、チタンチャンバー)/槽内フッ素樹脂コーティング/防爆対応(エアパージ、温水式)/高真空度、高温/自動シーケンス・半自動機/扉開閉機工(横スライド、上スライド等)/真空一定/ピラニー真空計/アワーメーター取付/冷却トラップ取付/記録計用外部出力端子取付/観察窓サイズ変更等。